WEKO3
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特集7 : 研究速報 : 超LSIデバイスの製造における機械的プラナリゼーション加工
http://hdl.handle.net/2261/50019
http://hdl.handle.net/2261/500193de0f311-7cc9-4a8e-bdb8-0a22b7482c91
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk046012008.pdf (527.7 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2012-11-16 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 特集7 : 研究速報 : 超LSIデバイスの製造における機械的プラナリゼーション加工 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | A Mechanical Planarization Technique in ULSI Device Process | |||||
| 著者 |
丁, 海島
× 丁, 海島× 中川, 威雄 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 32525 | |||||
| 姓名 | JEONG, Heado | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 32526 | |||||
| 姓名 | NAKAGAWA, Takeo | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 東京大学生産技術研究所第2部 精密機械工学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 東京大学生産技術研究所第2部 先端素材製造学 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 特集 プロダクションテクノロジー | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 46, 号 12, p. 647-650, 発行日 1994-12 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 549 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| 値 | Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | |||||
