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特集7 : 研究速報 : 超LSIデバイスの製造における機械的プラナリゼーション加工

http://hdl.handle.net/2261/50019
3de0f311-7cc9-4a8e-bdb8-0a22b7482c91
名前 / ファイル ライセンス アクション
sk046012008.pdf sk046012008.pdf (527.7 kB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2012-11-16
タイトル
タイトル 特集7 : 研究速報 : 超LSIデバイスの製造における機械的プラナリゼーション加工
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
タイプ departmental bulletin paper
その他のタイトル
その他のタイトル A Mechanical Planarization Technique in ULSI Device Process
著者 丁, 海島

× 丁, 海島

WEKO 32523

丁, 海島

Search repository
中川, 威雄

× 中川, 威雄

WEKO 32524

中川, 威雄

Search repository
著者別名
識別子
識別子 32525
識別子Scheme WEKO
姓名
姓名 JEONG, Heado
著者別名
識別子
識別子 32526
識別子Scheme WEKO
姓名
姓名 NAKAGAWA, Takeo
著者所属
著者所属 東京大学生産技術研究所第2部 精密機械工学
著者所属
著者所属 東京大学生産技術研究所第2部 先端素材製造学
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 特集 プロダクションテクノロジー
書誌情報 生産研究

巻 46, 号 12, p. 647-650, 発行日 1994-12
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0037105X
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN00127075
日本十進分類法
主題 549
主題Scheme NDC
出版者
出版者 東京大学生産技術研究所
出版者別名
Institute of Industrial Science, the University of Tokyo
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Ver.1 2021-03-02 04:39:23.716742
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