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  1. 134 生産技術研究所
  2. 生産研究
  3. 39
  4. 6
  1. 0 資料タイプ別
  2. 30 紀要・部局刊行物
  3. 生産研究
  4. 39
  5. 6

特集1 : 研究解説 : 超精密非接触表面形状測定法について

http://hdl.handle.net/2261/39613
http://hdl.handle.net/2261/39613
4dd12928-8b68-4110-a4d3-116c20efd61c
名前 / ファイル ライセンス アクション
sk039006002.pdf sk039006002.pdf (719.8 kB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2011-01-11
タイトル
タイトル 特集1 : 研究解説 : 超精密非接触表面形状測定法について
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
タイプ departmental bulletin paper
その他のタイトル
その他のタイトル Noncontact Surface Profile Measurement for Ultra Precision Machining
著者 佐藤, 壽芳

× 佐藤, 壽芳

WEKO 37643

佐藤, 壽芳

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著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 37644
姓名 Sato, Hisayoshi
著者所属
著者所属 東京大学生産技術研究所第2部 工作システム工'-lil:
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 超精密加工面の表面微細形状を光学装置、走査電子顕微鏡を用いて非接触測定する方法の現状について概観した。対象表面の微細形状は数nmないし10nm台の精度が要求されている。光学的方法としては、各種の干渉法、光挺子法等と差動増幅法の組み合わせ等による方法が示されている。一方電子顕微鏡を用いる方法は試料表面を観察する画像を構成している信号の処理によって、微細形状を求める方法が提示されている。それぞれに特徴があるが、所要の精度測定の道が開けつつある状況について解説している。
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 特集 生産・加工システムの最適化
書誌情報 生産研究

巻 39, 号 6, p. 201-208, 発行日 1987-06-01
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0037105X
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN00127075
日本十進分類法
主題Scheme NDC
主題 500
出版者
出版者 東京大学生産技術研究所
出版者別名
Institute of Industrial Science, the University of Tokyo
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Ver.1 2021-03-02 04:07:32.029110
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