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  1. 113 工学系研究科・工学部
  2. 34 マテリアル工学専攻
  3. 1133420 博士論文(マテリアル工学専攻)
  1. 0 資料タイプ別
  2. 20 学位論文
  3. 021 博士論文

Study of Network Rigidity Coordination of Dielectric Thin Films for Scalable and Reliable Ge MOS Device

https://doi.org/10.15083/00073054
https://doi.org/10.15083/00073054
64372196-a6c0-4958-b890-8794c9c9627c
名前 / ファイル ライセンス アクション
A32152_summary.pdf A32152_summary.pdf (3.4 MB)
A32152_abstract.pdf A32152_abstract.pdf (73.4 kB)
A32152_review.pdf A32152_review.pdf (182.8 kB)
Item type 学位論文 / Thesis or Dissertation(1)
公開日 2017-10-20
タイトル
タイトル Study of Network Rigidity Coordination of Dielectric Thin Films for Scalable and Reliable Ge MOS Device
言語
言語 eng
資源タイプ
資源 http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec
タイプ thesis
ID登録
ID登録 10.15083/00073054
ID登録タイプ JaLC
その他のタイトル
その他のタイトル 高信頼性微細GeMOSデバイスの実現に向けた誘電体薄膜中のネットワーク強化に関する研究
著者 Lu, Cimang

× Lu, Cimang

WEKO 143431

Lu, Cimang

Search repository
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 143432
姓名 ル, ツーマン
著者所属
著者所属 工学系研究科マテリアル工学専攻
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 学位の種別: 課程博士
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 審査委員会委員 : (主査)東京大学教授 鳥海 明, 東京大学教授 香川 豊, 東京大学教授 井上 博之, 東京大学准教授 長汐 晃輔, 東京大学教授 高木 信一
書誌情報 発行日 2015-09-25
著者版フラグ
値 none
学位名
学位名 博士(工学)
学位
値 doctoral
学位授与機関
学位授与機関名 University of Tokyo(東京大学)
研究科・専攻
Department of Materials Engineering, Graduate School of Engineering (工学系研究科マテリアル工学専攻)
学位授与年月日
学位授与年月日 2015-09-25
学位授与番号
学位授与番号 12601甲第32152号
学位記番号
博工第8690号
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Ver.1 2021-03-01 18:17:41.219086
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